氬氣回收系統(tǒng)通過物理或化學(xué)方法對工業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣氬氣進(jìn)行分離、提純和再利用,以降低生產(chǎn)成本并促進(jìn)資源循環(huán)利用。以下是其核心要素的總結(jié):
一、技術(shù)原理
氣體分離?
采用低溫精餾法或吸附法分離混合氣體中的氬氣,利用沸點(diǎn)差異或吸附材料特性實(shí)現(xiàn)..提純。
壓縮與儲存?
通過氬氣壓縮機(jī)將蒸發(fā)氣體壓縮至高壓(200-250bar)后儲存,支持循環(huán)利用。
凈化工藝?
真空爐回收系統(tǒng)通過四級除油預(yù)處理(冷凝、等離子除油等)和三級凈化(除氧、吸附等),將氬氣純度提升至99.9999%以上。
二、組成結(jié)構(gòu)
核心組件?:儲罐、氣體管道、過濾器、純化裝置、壓縮機(jī)。
輔助系統(tǒng)?:塵埃凈化、除氧冷卻、干燥凈化及調(diào)壓控制單元。
三、操作流程
廢氣回收?:收集含雜質(zhì)的氬氣,初步過濾并增壓。
純化處理?:通過吸附、低溫精餾等技術(shù)去除氧、氮、水分等雜質(zhì)。
儲存循環(huán)?:提純后的氬氣儲存于高壓容器,按需輸送至生產(chǎn)線。
四、應(yīng)用領(lǐng)域
電子與光伏?:半導(dǎo)體芯片制造、單晶硅/多晶硅生產(chǎn)中的保護(hù)氣體。
粉末冶金?:高溫?zé)Y(jié)、熱處理環(huán)節(jié)維持無氧環(huán)境,防止金屬氧化。
金屬增材制造?:3D打印中降低氬氣成本(占材料成本30%-50%)。
五、經(jīng)濟(jì)價值
成本節(jié)約?:某企業(yè)年氬氣消耗達(dá)2800萬元,回收系統(tǒng)可減少30%-50%采購成本。
環(huán)保減排?:減少惰性氣體排放,助力企業(yè)滿足低碳環(huán)保要求。
該系統(tǒng)通過資源循環(huán)利用與自動化控制,實(shí)現(xiàn)了工業(yè)生產(chǎn)的降本增效與可持續(xù)發(fā)展。